科技日报讯 （吴宁轶 胡满朝 记者丁秀玉）记者8月25日在常州比太科技有限公司得悉，该公司自主研制出产的新一代多晶硅电池RIE干法制绒配备Tysol3000-RIE成功出货晶澳太阳能公司。比太科技在等离子干法刻蚀上的打破是高端配备技能的严重前进，处理了我国太阳能电池制作核心技能依靠进口问题，为我国太阳能电池技能继续前进供给了有力支撑。
比太科技是专心于新一代高效太阳能电池配备的研制和制作，由美国硅谷的金沙江创投（GSR Venture）一期出资1000万美元创建。比太科技根据自主研制的线性等离子源技能，成功开发出了Tysol-RIE系列干法制绒设备，成为国内业界仅有完成RIE干法制绒技能量产化的设备制作企业。
据了解，通过相关工艺优化，比太科技的干法制绒比传统湿法制绒，可将多晶硅电池的转化功率进步0.8%以上，使现在量产的多晶硅电池功率从18%左右进步到挨近19%，现在该技能遭到业界主流光伏制作商的广泛重视。据晶澳公司的宣告，以黑硅电池做成的6×10“润秀”电池组件功率均匀到达了275瓦，比现在市场上惯例多晶电池组件的功率进步15瓦，相应的单位发电量添加6%， 使相关的发电体系本钱大幅度下降。
曾在美国留学，多年从事于等离子镀膜技能开发研讨的常州比太科技科技创始人兼CEO上官泉元和记者说，干法制绒黑硅是能以最低本钱投入，取得最大效益的技能，并能够嫁接到传统的电池出产线上，为我国太阳能电池技能前进供给处理方案。干法制绒不光能够用于惯例多晶硅电池，并且对金钢线切割的硅片也能到达相同作用，为进一步削减硅片厚度，下降太阳能电池本钱奠定了根底。比太科技创始人兼总裁李剑说：“最近，咱们接连接到多台订单，并有多家太阳能电池出产厂正活跃跟进，预期黑硅技能将被扩展选用并成为多晶电池的规范工艺。咱们的黑硅电池可叠加匹配PERC电池打破多晶20%的功率，到达290—295瓦的组件功率，奠定了我国晶硅电池工业的技能晋级根底。”
据悉，国内现有超越40GW产能的多晶硅电池出产线%的速度在增加。选用干法制绒代替现有湿法制绒能够对旧线改造，也能够在制作新线 RIE设备每年能够出产100兆瓦（100MW）电池，所以1GW约需求10台设备，具有很大的市场潜力。
